अनुक्रमिक प्रकाश, स्कैनिंग इलेक्ट्रॉन और परमाणु बल की तुलना इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी जनित पैटर्न के लिए तरीकों की जांच करें

शेंग झांग; ताओ ली; गैंगकियांग झांग और युज़ेन फेंग

अमूर्त

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शेंग झांग, ताओ ली, गैंगकियांग झांग और युज़ेन फेंग

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अस्वीकृति: इस सारांश का अनुवाद कृत्रिम बुद्धिमत्ता उपकरणों का उपयोग करके किया गया है और इसे अभी तक समीक्षा या सत्यापित नहीं किया गया है।

जर्नल हाइलाइट्स

अर्धचालक इलेक्ट्रॉनिक सामग्री विकास ऊष्मप्रवैगिकी एकीकृत परिपथ एप्लाइड इंजीनियरिंग औद्योगिक इंजीनियरिंग कंपोजिट मटेरियल गैर धातु सामग्री चुंबकीय क्षेत्र झरझरा सामग्री धात्विक सामग्री नैनो नैनो इंजीनियरिंग नैनो कंपोजिट नैनो कण नैनो सामग्री पॉलिमर प्रौद्योगिकी पॉलिमर सामग्री बायोमैटिरियल्स बिजली का गतिविज्ञान भंगुर सामग्री माल इंजीनियरिंग रडार सिस्टम विद्युत अभियन्त्रण संरचनागत वास्तुविद्या सिरेमिक इंजीनियरिंग

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